光度计扫描法-PAO法

GB50591-2010

ISO14644-3

1、简单易学，判断标准0.01%易懂，

2、对背景环境的要求没有计数器法高，瞬时读数。

1、发尘量大，对过滤器有一点污染

2、过滤器安装需要留有检漏口，适用于新建厂房

适合与HEPA,不适合ULPA

光度计，只能针对油类气溶胶

大气尘检漏法（粒子计数器法）

GB50591-2010

洁净室施工及验收规范

不需要人为发尘，对过滤器几乎没有污染。

对背景要求高，环境洁净度对检漏结果有影响

气溶胶对产品有污染的地方，如特定电子厂。

粒子计数扫描法

ISO14644-3洁净室及相关受控环境

发尘量，污染少。可直接显示颗粒粒径。漏点值表达明确。

新方法；对背景环境有要求高；操作难度规范性高。

适用于HEPA及ULPA

适用于油类/固体类气溶胶